摘要
2024年鈺祥企業開發出全球首款碳中和化學濾網,專為半導體無塵室設計,可有效去除空氣中看不見的酸性、鹼性與有機化合物等氣體分子汙染物(AMCs),避免晶圓受損、確保良率。
不同於過去一般只能用一次的濾網,鈺祥企業採用模組化設計,並搭配自家研發的再生技術,經工研院認證再生型濾網可重複使用至少10 次,產品經測試後均表現穩定。不僅回收率達 95%,還能幫助客戶減少 85% 以上的碳排放,節省成本、也守護地球。
鈺祥企業更導入全新「熱流再生製程」,讓透過專門製成加熱段與降溫段腔體的特點,可持續維持加熱段溫度,減少反覆升降溫的能耗需求就能完成再生,節能又高效。系統結合 AIoT 智慧感測與雲端平台,能即時監控設備狀態與能耗數據,提升整體管理效率。
此外,鈺祥企業首創「濾網訂閱制」,協助企業簡化備品與維護流程,實現從產品到服務的永續創新。這項技術不只是潔淨空氣的解方,更是企業邁向淨零的關鍵一步。