摘要
導入快速自動對位技術與Auto Focus技術並建置高精度校正顯微影像座標系，優化座標數據與定位精度，並串接探針資料庫建立探針智慧辨識技術，即時辨識探針種類，提高探針定位精度。輔助現有人力進行探針卡自動化全範圍檢測，並根據塑性變形及彈性回復預測補償量，產生異位探針調針方向(包含水平與垂直位移)偏移量之建議值，並於人機介面上顯示探針異位分布圖(包含移動路徑、調整針數等調針資訊)，藉由影像處理分析與運動回饋控制，達成人機協作對位機制，以降低探針調針時間。期望降低檢驗人員工作負荷，減少製程中對操作人員經驗及視力的依賴，並提高系統可靠性。