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氮化鎵高電子遷移率電晶體之場版改良結構

電子與光電

技術/專利摘要表

附加圖片
摘要
一種氮化鎵高電子遷移率電晶體之場版改良結構,其包括:一磊晶結構;三電極,其包括一源極、一閘極及一汲極係設置於該磊晶結構上,其中該磊晶結構於對應該汲極處形成一垂直方向之缺口;一雙層鈍化層,其包括L形之一低介電常數之鈍化層及L形之一高介電常數之鈍化層,並設置於該垂直方向之缺口,以及一垂直場板,其以垂直方向設置於該雙層鈍化層上。
資料類別
專利
資料編號
S11405C0002
發明人
所有人
國家中山科學研究院
所有人屬性
研究機構
技術成熟度
實驗室階段
上架日期
2025/05/13
交易方式
專利_非專屬授權,
刊登有效日期
2027/05/13
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專利保護情形

專利保護狀態
已獲證
申請國
中華民國
專利類別
發明(TW,CN)/特許(JP)/Utility(US)
申請號
112140958
申請日期
2023/10/24
公告號
I869004
公告日期
2025/01/01
專利權起算日
2025/01/01
專利權屆滿日
2043/10/23


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