摘要
一種瑕疵檢測方法包含下列步驟。令一瑕疵檢測裝置距一待測物品一第一距離，並透過瑕疵檢測裝置之一拍攝鏡組對待測物品進行一遠距檢測。依據遠距檢測結果獲得待測物品上的至少一可疑區域。令瑕疵檢測裝置移動至至少一可疑區域，並距待測物品之至少一可疑區域一第二距離，第二距離小於第一距離，並透過瑕疵檢測裝置之拍攝鏡組對待測物品進行一近拍檢測。
所有人
Industrial Technology Research Institute(工業技術研究院)
所有人屬性
研究機構
交易方式
專利_讓售,專利_專屬授權,專利_非專屬授權,合作開發,自行洽談,
刊登有效日期
2027/05/09
專利類別
發明(TW,CN)／特許(JP)／Utility(US)
申請號
111105521
申請日期
2022/02/16
公告號
TWI806430
公告日期
2023/06/21
專利權起算日
2023/06/21
專利權屆滿日
2042/02/15