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微波加熱裝置的操作方法及使用該方法之微波退火製程

機械與系統 電漿技術

技術/專利摘要表

附加圖片
摘要
本發明提供一種微波加熱裝置的操作方法,包括在加熱腔室中設置載台、在加熱腔室外設置微波發射機,並提供半波整流電源供應器耦接至微波發射機,半波整流電源供應器包含有電容器;加熱腔室與微波發射機之間連接有縱向波導波管與橫向波導波管。調整半波整流電源供應器之電容器的電容值,使微波發射機發出的微波波形頻寬擴大至產生複數重疊耦合,倍增微波模態數;經由半波整流電源供應器供應電力至微波發射機,使微波藉由縱向波導波管與橫向波導波管傳遞至加熱腔室中,並於加熱腔室中形成多重微波模態,達到均勻加熱的目的。
資料類別
專利
資料編號
S11208M0125
發明人
所有人
工業技術研究院
所有人屬性
研究機構
技術成熟度
量產上市
上架日期
2023/08/03
交易方式
技術授權,專利_讓售,專利_專屬授權,專利_非專屬授權,合作開發,
刊登有效日期
2025/08/03
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專利保護情形

專利保護狀態
已獲證
申請國
美國
專利類別
發明(TW,CN)/特許(JP)/Utility(US)
申請號
15/854,802
申請日期
2017/12/27
公告號
US20180122663
公告日期
2018/05/03
專利權起算日
2020/06/23
專利權屆滿日
2036/08/30


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