摘要
一種聚焦式微波電漿反應裝置，此裝置乃利用一種圓柱形準TM011模態微波共振腔，該共振腔具有聚焦微波電場之效果，據以激發一種聚焦式微波電漿，從而進行各種電漿輔助化學氣相沉積反應程序。
交易方式
技術授權,專利_讓售,專利_專屬授權,專利_非專屬授權,合作開發,
刊登有效日期
2025/08/03
專利類別
發明(TW,CN)／特許(JP)／Utility(US)
申請號
16/528,700
申請日期
2019/08/01
公告號
US20200211825
公告日期
2020/07/02
專利權起算日
2021/11/23
專利權屆滿日
2039/09/10