摘要
一種微波電漿激發裝置，包括一電漿反應腔室、一金屬窗框、具有多個窗口之多個窗格、多個微波發射機以及多個導波管。所述金屬窗框設置於電漿反應腔室的一面。窗格設置於金屬窗框的窗口內，微波發射機則設置於電漿反應腔室外。而導波管分別連接各個微波發射機與各個窗格，以構成多個電漿激發單元。另外，在金屬窗框上分別放置多個永久磁鐵，則可使上述微波電漿激發裝置用作可大面積化之電子迴旋共振電漿裝置。
技術成熟度
量產上市
上架日期
2023/08/03
交易方式
技術授權,專利_讓售,專利_專屬授權,專利_非專屬授權,合作開發,
刊登有效日期
2025/08/03
專利類別
發明(TW,CN)／特許(JP)／Utility(US)
申請號
201110065895.3
申請日期
2011/03/18
公告號
CN102595759
公告日期
2012/07/18
專利權起算日
2014/09/03
專利權屆滿日
2031/03/17